洪義麟???受訪者供圖
(資料圖片僅供參考)
■本報記者 王敏
中國科學技術大學（以下簡稱中國科大 ）國家同步輻射實驗室教授級高級工程師洪義麟，是一位衍射光柵研制專家。但在同事眼中，他不僅是一位工程師，更是缺什么設備就能想辦法造出什么設備的能工巧匠。
多年來，他始終圍繞國家重大戰(zhàn)略需求，長期從事衍射光柵研究，帶領團隊自主研發(fā)出多套光柵研制關鍵工藝設備，逐步解決了制約我國強激光技術發(fā)展的大口徑光柵“卡脖子”問題。日前，他獲得了中國科學院第四屆“科苑名匠”稱號。
“國家的需求，就是我的目標。攻堅克難，廢寢忘食，樂在其中?！焙榱x麟說。
結緣光柵
前不久，第十九屆“中國光谷”國際光電子博覽會在武漢舉行。洪義麟團隊攜帶多項創(chuàng)新成果參會。
“我們展示的成果有米級口徑脈沖壓縮光柵、反射式寬帶鍍金光柵、高性能光譜合束光柵、AR衍射光波導光柵、高衍射效率透射光柵……”洪義麟向《中國科學報》介紹這些成果時，如數(shù)家珍。
何為光柵？“光柵是一種具有納米精度周期性微結構的精密光學元件，因形如柵欄，故名光柵。”洪義麟介紹，光柵表面上看像是一塊玻璃或鏡子，但在電子顯微鏡下看，其表面均勻分布著無數(shù)根平行的線條。由于衍射作用，光柵可以把射入的白光給色散開，形成光譜。光柵是光譜儀器的“心臟”，不同的物質光譜特征不同，由此可以分析出構成物體的“成分”。
一般來說，光柵線條數(shù)量越多，精度越高，分析“本領”越強，光譜分析結果越精確。但無論將光柵“做大”還是“做精”都很困難，兩個同時做到，更是難上加難。
時間回到1991年，我國第一個國家級實驗室——國家同步輻射實驗室一期工程建設接近尾聲，即將接受國家驗收，但從國外定制的光柵到貨時間卻還遙遙無期。工程建設團隊曾嘗試聯(lián)系國內多家光學元件研制單位，但都無法解決這一棘手難題。
情急之下，時任中國科大副校長、國家同步輻射實驗室工程總經理包忠謀，找到洪義麟所在的衍射波帶片研制攻關小組，要求團隊“一定要研制出光電子能譜光束線的光柵，需要的條件，只要有可能，一律滿足”。
然而，此時小組里的4個人，誰都不知道如何制作光柵?！拔覀冎荒馨凑諘局R，從頭開始摸索工藝，幸運的是實驗室已經配備了國產的激光器、光學平臺、離子束刻蝕機等基本研制設備?！焙榱x麟回憶道。
因全息曝光實驗室靠近馬路，白天汽車經過產生的震動會使線條“模糊”，他們只能下半夜做全息曝光實驗；刻蝕機口徑不夠大，自己動手改造；全息掩模做好了，裝到刻蝕機里，抽上真空，他們就抓緊時間睡一會兒，醒來再繼續(xù)做刻蝕和電鏡實驗……
就這樣，全組人員經過3個月的晝夜奮戰(zhàn)，終于研制出我國第一塊技術指標合格的同步輻射光柵，保障了國家同步輻射實驗室一期工程的順利驗收。
從那時起，洪義麟正式與光柵結緣。
向高精密光柵進軍
走進衍射光學元件精密加工實驗室，十多臺儀器設備都在有序工作?！斑@是涂膠機、離子束刻蝕機、清洗機、衍射效率測量系統(tǒng)……”洪義麟按照光柵制作的步驟，依次介紹了他們自主研發(fā)的一系列國內大光柵研制關鍵工藝設備。
正是憑借這些“金剛鉆”，他們研制出多種大口徑脈沖壓縮光柵。比如，目前國際上最大口徑1400毫米的介質膜高閾值脈沖壓縮光柵。這些成果已應用在國內主要強激光裝置上，助力我國高能激光系統(tǒng)達到世界先進水平。很難想象，上世紀末，我國大口徑光柵制作還是一片空白。
洪義麟介紹，作為高性能激光的核心元件，不同于普通光柵，這類大口徑光柵的主要特點是“一大三高”：米量級大口徑（達到1米以上）、高衍射效率（達到95%以上）、高精度衍射波前（線條均勻性好和光柵基片面型精度高）、高抗激光損傷閾值（耐強激光照射能力強）。
“將這么多難點匯集在一塊光柵上，制作難度之大、工藝之復雜，不言而喻?！焙榱x麟直言。當時，國際上僅有法國和美國各一家公司可以制作，且最大口徑僅有900毫米左右。
為了打破困局，2002年，國家“863計劃”攻關項目“大口徑衍射光學元件研制”開始實施。由中國科大牽頭，聯(lián)合清華大學、蘇州大學、四川大學、中國科學院上海光學精密機械研究所組成大光柵團隊進行攻關，目標是研發(fā)半米量級的脈沖壓縮光柵。
工欲善其事，必先利其器。洪義麟牽頭開始研制中等口徑旋轉涂膠機、中等口徑離子束刻蝕機、等離子灰化機等關鍵工藝設備。
有了設備，團隊很快研制出第一塊100毫米口徑的介質膜脈沖壓縮光柵，實現(xiàn)了國內脈沖壓縮光柵從無到有的跨越。2009年，團隊研制出430毫米口徑的光柵，圓滿完成攻關任務。
有了信心，團隊開始向更高目標進軍——承擔國家重大專項“衍射光學元件中試驗證與關鍵技術攻關”項目，制作米量級（1400毫米）口徑脈沖壓縮光柵，并實現(xiàn)批量供貨。
“光柵口徑一下從430毫米增長到1400毫米。對應到設備上，幾乎所有關鍵工藝設備都需要重新研制，甚至有些設備的技術路線都要作出改變?！焙榱x麟說，從口徑上來看，這些設備幾乎都是國際上最大的。
時間緊，任務重，難度大。洪義麟再次帶領團隊從技術方案到關鍵器件、從機械設計到加工工藝、從安裝調試到實驗工藝，進行了一系列的創(chuàng)新和關鍵技術攻關。最終，歷經7年時間，他們啃下了這塊“硬骨頭”，完成了關鍵大口徑光柵工藝設備的自主研制。
除了研制設備外，洪義麟帶領團隊創(chuàng)新工藝技術——首創(chuàng)等離子掩模修正技術，實現(xiàn)光刻膠光柵線條的高精度修正。同時，研制出一批關鍵工藝在線監(jiān)測系統(tǒng)，光柵工藝控制實現(xiàn)了從憑“經驗”到科學“定量”控制的跨越。
在洪義麟看來，強國之夢，需要高新技術支撐。要想趕上國際先進水平，沒有捷徑，只有付出更多努力。
“要堅信我們不比別人差”
可能是“骨子里的遺傳”，洪義麟從小就喜歡動手鼓搗各種小東西?！拔业母赣H很早就評上了7級鉗工。小時候，父親經常帶著我在家里做一些玩具、桌椅板凳等。這為我的童年帶來了很多樂趣，也培養(yǎng)了我的動手能力。”洪義麟自豪地說。
1981年，洪義麟考入浙江大學光學儀器專業(yè)，這是我國光學工程里的頂尖學科?！爱敃r，我對照相機、電影放映機等特別好奇，夢想著以后能親手接觸這些‘高大上’的儀器，覺得那就是最好的工作?！焙榱x麟說。
1985年，洪義麟加入國家同步輻射實驗室?；厥?8年科研生涯，洪義麟感慨道：“干事情要有信心，要堅信我們不比別人差。但凡國際上有人可以做出來的東西，我們一定也能做出來，甚至能比別人做得更好?！?/p>
付紹軍是1977年中國科大物理系畢業(yè)生，1984年初從物理系調入國家同步輻射實驗室。30多年來，作為中國科大教授級高級工程師，他一直與洪義麟并肩作戰(zhàn)，是洪義麟的“老領導”，也是最好的“搭檔”。
“洪義麟既聰明又能干，而且多年如一日，踏踏實實、認認真真做事情，這是非常難得的?！闭勂鸷榱x麟，付紹軍贊賞連連。
作為大光柵團隊負責人，洪義麟經常勉勵學生，動手是工程師的基本技能，只有親自做過，才能更好、更快地找到解決難題的方法；要重視理論的指導作用，在理論上多花時間，做實驗就會事半功倍。同時，還要具備很強的持續(xù)學習能力和良好的團隊合作精神。
“我們趕上了一個偉大的時代，也是光柵廣泛應用的時代。我將繼續(xù)帶領團隊順應國家需求、順應市場需求，攻堅克難，不斷提升光柵性能，為中國制造、中國創(chuàng)造貢獻自己的力量?！焙榱x麟表示。
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